便攜式四探針電阻率測(cè)試儀 便攜式四探針電阻率檢測(cè)儀
型號(hào):DL04-KDY-1A
概述
便攜式電阻測(cè)度儀是用來(lái)測(cè)量硅晶塊、晶片電阻率及擴(kuò)散層、外延層、ITO導(dǎo)電箔膜、導(dǎo)電橡膠等材料方塊電阻的小型儀器。
本儀器按照半導(dǎo)體材料電阻率的及國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)測(cè)試方法有關(guān)規(guī)定設(shè)計(jì)。
它主要由電器測(cè)量部份(主機(jī))及四探頭組成,需要時(shí)可加配測(cè)試架。
為減小體積,本儀器用同一塊數(shù)字表測(cè)量電流及阻率。樣品測(cè)試電流由高精寬的恒流源提供,隨時(shí)可進(jìn)行校準(zhǔn),以確保電阻率測(cè)量的準(zhǔn)確度。因此本儀器不僅可以用來(lái)分先材料也可以用來(lái)作產(chǎn)品檢測(cè)。對(duì)1~100Ω•cm標(biāo)準(zhǔn)樣片的測(cè)量瓿差不超過(guò)±3%,在此范圍內(nèi)達(dá)到國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)一級(jí)機(jī)的水平。
測(cè)量范圍:
可測(cè)量 電阻率:0.01~199.9Ω•cm。
可測(cè)方塊電阻:0.1~1999Ω/口
當(dāng)被測(cè)材料電阻率≥200Ω•cm數(shù)字表顯示0.00。
(2)恒流源:
輸出電流:DC 0.1mA~10mA分兩檔
10mA量程:0.1~1mA 連續(xù)可調(diào)
10mA量程:1mA ~10mA連續(xù)可調(diào)
恒流精度:各檔均優(yōu)于±0.1%
適合測(cè)量各種厚度的硅片
(3) 直流數(shù)字電壓表
測(cè)量范圍:0~199.9mv
靈敏度:100μv
準(zhǔn)確度:0.2%(±2個(gè)字)
(4) 供電電源:
AC:220V ±10% 50/60HZ 功率8W
(5) 使用環(huán)境:
相對(duì)濕度≤80%
(6) 重量、體積
重量:2.2 公斤
體積:寬210×高100×深240(mm)
(7)KD探針頭
壓痕直徑:30/50μm
間距:1.00mm
探針合力:8±1N
針材:TC
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